GlassKote FGI投资超过12亿澳元建设两座浮法玻璃厂,国际动态

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

莫塔达费尔莫

格罗泰里亚

马里内奥

　　90vs体育讯 北京时间3月24日，2024年乌兹别克斯坦U-20女足亚洲杯预选赛第二阶段抽签仪式在亚足联总部吉隆坡进行。

　　参加本次抽签的共有8支球队，中国U-20女足作为A档球队被分在B组，同组对手有缅甸、尼泊尔、中国台北。A组有澳大利亚、越南、伊朗和黎巴嫩。

　　预选赛第二阶段将于6月3日至11日以赛会制形式举行。中国U-20女足将在首轮对阵中国台北，第2轮迎战尼泊尔，小组赛最后一个对手是缅甸。每个小组的前两名将获得正赛资格。

U2女足亚洲杯第二阶段：中国尼泊尔同组

阿奎洛尼亚

里齐科尼

蒙塔尔巴诺-埃利科纳

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

韦内蒂科

阿马特里切

皮翁比诺

　　10月13日上午，中国安徽名优农产品暨农业产业化交易会（2023·合肥）在合肥滨湖国际会展中心开幕。本次农交会以“生态·品牌·开放·创新”为主题，13日至15日在合肥滨湖国际会展中心举办。（记者：朱胜利 图片：杨竹）

2023合肥农交会开幕

伊索拉-德尔利里

法尔科内

波皮

几十幅作品映入眼帘，半个世纪前坦赞铁路呼啸而过时的风仿佛再次吹回了这里。熙熙攘攘的人群中，一位老人突然停住脚步。他叫索罗蒙·姆瓦卡桑加，今年73岁，1970年参加坦赞铁路建设工作，几乎把一生都交给了这条钢铁大动脉。

11月26日，在坦桑尼亚达累斯萨拉姆，坦赞铁路退休职工索罗蒙·姆瓦卡桑加在“同路朋友——坦赞铁路采风绘画展”上认出画中的自己。新华社发（赫尔曼·埃马纽埃尔摄）

我跟着他的脚步，在不同的记忆画面间穿梭。

老照片展区，姆瓦卡桑加指着中国工人和坦桑工人一起工作和生活的照片，轻声说：“中国兄弟们不要求特殊照顾，我们吃一样的清汤和玉米糊，住在同样的工地里。”

说这句话时，他的声音里似乎有一种淡淡的骄傲——那是属于亲历者的、无人能替代的情感。

在另一幅表现中坦工人合力铺轨的画作前，他突然笑了：“你看这个动作——那是我们当年发明的‘铁路语言’。”他说，中坦工人当年语言不通，为了安全，大家用斯瓦希里语加中文的混合手势来指挥施工，“喊一句、比一下”，增加干劲，还能减少风险。

老人抬手指向另一幅画——画中的几个坦桑工人站在“东方红”机车旁，笑容爽朗。姆瓦卡桑加看着画里的人，眼眶微微泛红。这时，又有几位老工人靠了过来，彼此交换着只有他们听得懂的回忆。

这是11月26日在坦桑尼亚达累斯萨拉姆拍摄的“同路朋友——坦赞铁路采风绘画展”开幕式。新华社发（赫尔曼·埃马纽埃尔摄）

人群另一侧，50岁的坦桑尼亚艺术家弗雷德·哈拉站在自己的作品前。他在铁路旁长大，对轨道的金属光泽和车站的喧哗再熟悉不过。画里的铁路在暮色下延伸，线条刚劲。他说，每一幅画都是时代的见证，“一条铁路连接了国家，也连接了人”。

坦桑尼亚女大学生萨洛梅在一幅画前驻足良久。画面描绘的是经过村庄的客车车厢，孩子们追着火车跑，笑得灿烂。她轻轻说：“我父亲小时候就是这样跑着看火车的。”她举起手机拍下画面，随后又站了好一会儿，像是把那段未曾亲历却深深感到的记忆放进心里。

策展人、来自中国国家博物馆的谭斐说，展厅从灯光角度到墙体色彩再到叙事动线，都经过反复推敲：“我们希望观众不仅是看展，而是走进历史。”她指着墙上一张张中国工人和坦桑尼亚工人一起生活和工作的照片说：“这是坦赞铁路精神最真实的部分。”

坦桑尼亚自然资源和旅游部长阿莎图·卡奇万巴·基贾吉把展厅称为“一间活着的教室”。她说，坦赞铁路不仅改变了坦赞两国的命运，也记录了非中人民共同面对困难时的勇气。

中国驻坦桑尼亚大使陈明健动情地说，在坦赞寻求建铁路的年代，虽然当时的中国还不富裕，却毅然伸出援手，派出了五万余名工程师和技术人员。建成50年来，坦赞铁路始终是中非友谊的丰碑。

11月26日，在坦桑尼亚达累斯萨拉姆，坦赞铁路退休职工在“同路朋友——坦赞铁路采风绘画展”上合影。新华社发（赫尔曼·埃马纽埃尔摄）

铸成这座友谊丰碑的，是许多把生命留在这片土地的中国工人，是第一次坐上火车回乡的赞比亚人，是那些在山谷里架桥、在原始森林里铺轨的劳动者。他们没有站上过受人瞩目的历史舞台，但却共同标注了浓墨重彩的历史印记。

走出展厅时，夜幕已经完全落下。博物馆外，树影在灯光下被拉得很长，像铁轨一样延伸向远处。回头望去，展厅里仍灯火通明，老工人站在画前，年轻人站在他们身后，不同的时代仿佛在同一束光下重叠。

半个多世纪前，中坦赞三国的建设者在山谷与密林中合力铺就这条铁路；半个多世纪后，又有新的中非同行者在这座展厅里重新把这段记忆点亮、传递。

离开展厅时，姆瓦卡桑加坐在一张长椅上，手里攥着展览册子。他告诉我，这些画让他再次相信，“坦赞铁路的故事，还远远没有讲完”。

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记者手记丨“坦赞铁路的故事，还远远没有讲完”

阿扎拉堡

圣卢恰-德尔梅拉

奥塔维亚诺

什么是虚拟电厂?

虚拟电厂不是实体建筑，而是一个智能能源管理系统。它通过数字化手段，把分散的风电、光伏、储能设备、工厂用电设备等连接起来，像指挥交响乐团一样协调这些能源的供需。在用电高峰时，它能调动企业闲置的电力资源参与电网调节，既缓解了电网压力，又让企业获得额外收益。

企业能获得哪些好处?

对于绍兴的高耗能企业来说，这个项目就像装上了"绿色提款机"：首先，企业可以通过参与电网需求响应获得补贴，部分企业年收益可达百万级别;其次，项目将帮助企业开展绿电交易，降低碳排放成本，提升产品在国际市场的竞争力;最后，通过智能化的能源管理，企业还能降低整体用电成本，实现"省钱又赚钱"的双赢。

为什么选择在绍兴落地?

绍兴柯桥区作为工业重镇，聚集了大量纺织、印染等高耗能企业，能源转型需求迫切。项目将以杭绍临空示范区为起点，逐步覆盖柯桥全区，最终向全省推广。这种"试点-推广"的模式，既保证了项目的可行性，又能快速形成规模效应。

未来规划：三步走战略

项目制定了清晰的发展路线：2026年完成示范区核心企业接入;2027年覆盖柯桥区重点工业集群;2030年前向全省推广。这种循序渐进的方式，既保证了项目质量，又能让更多企业尽快受益。

临空新奥虚拟电厂项目的落地，标志着绍兴在智慧能源领域迈出了重要一步。对于企业来说，这不仅是节能减排的良机，更是转型升级的契机。在"双碳"目标的大背景下，谁能率先拥抱这种创新模式，谁就能在未来的市场竞争中占据先机。

未来已来!临空新奥虚拟电厂开工建设，打造智慧能源新标杆

巴尼奥-阿里波利

罗卡迪卡韦

博尔杰托